บริษัท Lam Research Corporation ได้เปิดตัว Dextro หุ่นยนต์ Collaborative Robot (Cobot) รุ่นแรกของโลกที่ถูกออกแบบมาเพื่อทำหน้าที่บำรุงรักษาอุปกรณ์การผลิตเวเฟอร์ในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์โดยเฉพาะ ปัจจุบัน Dextro ได้ถูกนำไปใช้งานจริงในโรงงานผลิตชิประดับโลกหลายแห่ง และพิสูจน์แล้วว่าสามารถช่วยลด Downtime ของเครื่องจักร เพิ่มความแม่นยำ และลดความผันแปรในการผลิตได้อย่างชัดเจน
ในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ (Wafer Fab) เครื่องจักรแต่ละตัวมีความซับซ้อนสูง ใช้เทคโนโลยีขั้นสูงทั้งด้านฟิสิกส์ เคมี และระบบอัตโนมัติ ซึ่งต้องการการบำรุงรักษาอย่างสม่ำเสมอและมีความละเอียดระดับนาโนเมตร ความผิดพลาดแม้เพียงเล็กน้อยในการถอดและประกอบชิ้นส่วนย่อย (Subsystem) สามารถส่งผลโดยตรงต่อประสิทธิภาพการผลิตและ Yield ของเวเฟอร์ การที่ Dextro เข้ามาช่วยในจุดนี้ จึงถือเป็นการยกระดับคุณภาพการบำรุงรักษาที่สำคัญด้วยเทคโนโลยีสมัยใหม่
จุดเด่นของ Dextro
-
ความแม่นยำสูงระดับ Sub-Micron
สามารถทำงานได้แม่นยำกว่ามนุษย์กว่า 2 เท่า ช่วยควบคุมประสิทธิภาพการกัดลาย (Etch) บริเวณขอบเวเฟอร์และทำให้ Yield สูงขึ้น -
ลดความผิดพลาดจากงานซ้ำ ๆ
Dextro สามารถขันสกรูสุญญากาศที่มีความละเอียดสูงได้ตามสเปก 100% ขณะที่วิธีการของมนุษย์อาจมีอัตราความผิดพลาดอยู่ที่ 5% การทำงานที่ไร้ข้อผิดพลาดช่วยป้องกันปัญหาอุณหภูมิในห้องแปรผัน ซึ่งอาจทำให้เครื่องจักรต้องหยุดผลิต -
การทำความสะอาดห้องผลิตโดยไม่ต้องรื้อเครื่อง
หุ่นยนต์สามารถกำจัดสารพอลิเมอร์ที่เกาะผนังห้อง (Side-wall Polymer Build-up) ได้โดยไม่สร้างความยุ่งยากให้กับ Clean Room ลดเวลา ลดความเสี่ยงต่อมนุษย์ที่ต้องใส่อุปกรณ์ป้องกันพิเศษ และยังเพิ่มความปลอดภัยในการทำงาน -
การทำงานร่วมกับวิศวกรได้อย่างมีประสิทธิภาพ
แม้จะเป็นหุ่นยนต์ แต่ Dextro ถูกออกแบบมาให้ทำงานเคียงข้างวิศวกรโรงงาน ไม่ได้แทนที่คน แต่เป็นเครื่องมือที่ช่วยให้การบำรุงรักษาทำได้เร็วขึ้น ถูกต้องขึ้น และทำซ้ำได้โดยไม่มีข้อผิดพลาด
หนึ่งในปัจจัยสำคัญของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ คือ First-Time-Right (FTR) หรือการบำรุงรักษาและการซ่อมที่สำเร็จตั้งแต่ครั้งแรก Dextro ช่วยลดความสูญเสียทั้งเวลา แรงงาน และอะไหล่สิ้นเปลืองที่เกิดจากการบำรุงรักษาซ้ำ อีกทั้งยังช่วยเพิ่ม Uptime ของเครื่องจักร ซึ่งมีผลโดยตรงต่อผลผลิตและรายได้
Samsung Electronics ได้ยืนยันว่า การบำรุงรักษาโดย Dextro สามารถช่วยลดความผันแปรในการผลิตและเพิ่ม Yield ได้จริง ขณะที่นักวิเคราะห์อุตสาหกรรมชี้ว่า ความต้องการชิปที่เติบโตจากกระแส AI ทำให้ผู้ผลิตชิปต้องเพิ่มประสิทธิภาพการเดินเครื่องจักรอย่างเต็มที่ การใช้ Dextro จึงเป็นกุญแจสำคัญในการแข่งขัน
Dextro เปิดทางสู่ระบบอัตโนมัติเต็มระบบของ Wafer Fab
Dextro ไม่ได้เป็นเพียงหุ่นยนต์เดี่ยว แต่เป็นส่วนหนึ่งของกลยุทธ์ ‘Smart Fab’ ของ Lam Research ที่รวมทั้ง
-
Lam Equipment Intelligence®: ระบบเครื่องมือที่ปรับสอบเทียบและบำรุงรักษาตัวเองได้
-
Equipment Intelligence® Services: บริการที่ใช้ข้อมูล, AI และ Machine Learning เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการผลิต
ปัจจุบัน Dextro รองรับการใช้งานร่วมกับเครื่อง Flex® G และ H Series Dielectric Etch Tools และจะขยายไปยังเครื่องรุ่นอื่น ๆ ตั้งแต่ปี 2025 เป็นต้นไป
หุ่นยนต์ Cobot Dextro เป็นก้าวสำคัญของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ที่แสดงให้เห็นว่าการบำรุงรักษาอุปกรณ์ผลิตชิปกำลังเข้าสู่ยุคที่ระบบอัตโนมัติทำงานร่วมกับมนุษย์ได้อย่างไรรอยต่อ การผสมผสานระหว่างความแม่นยำของหุ่นยนต์และความเชี่ยวชาญของวิศวกรจะช่วยเพิ่ม Yield ลดต้นทุน และสร้างความมั่นคงในการผลิตท่ามกลางการแข่งขันที่รุนแรงและความต้องการชิปที่พุ่งสูงจากเทคโนโลยี AI
ที่มา:
Lam Research